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SU5000 熱場式場發射掃描電鏡

高靈敏度；壓力可變

  • 類 別：
  • 掃描電鏡
  • 型 號：
  • SU5000
  • 訂貨號：
  • TP0001485

商品名稱：SU5000 熱場式場發射掃描電鏡

  • 貨號：TP0001485

產品特點

高性能電子光學系統

  • 二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)＊

  • 高靈敏度: 高效PD-BSD, 超強的低加速電壓性能，低至100 V成像

  • 大束流(>200 nA): 便于高效微區分析


性能優異

  • 壓力可變: 具有優異的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測器(UVD)＊

  • 開倉室快速簡單換樣(最大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

  • 微區分析: EDS, WDS, EBSD等等


規格

項目內容
分辨率1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
電子光學系統電子槍ZrO /W 肖特基式電子槍
加速電壓0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進)
著陸電壓減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
最大束流> 200 nA
探測器低位二次電子探測器
低真空模式*2真空范圍: 10 - 300 Pa
馬達臺馬達臺控制5 - 軸自動 (優中心)
可動范圍X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°
最大樣品尺寸最大直徑: 200 mm
最大高度: 80 mm
選配探測器高分辨率頂位二次電子探測器＊1
高靈敏度低真空探測器 (UVD)
5分割半導體探測器 (PD-BSD)*3
能譜儀 (EDS)
波譜儀 (WDS)
背散射電子衍射探測器 (EBSD)
*1：減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測器）
*2：低真空功能（包含5分割半導體探測器）
*3：空壓機(本地采購)